基本概况：微机电系统（MEMS）技术是近二十年来发展起来的高新技术，微机电系统技术和惯性技术的结合，导致了新一代微惯性仪表与微系统技术的产生与发展。
主要研究涉及：微惯性仪表设计技术和测控技术，包括微陀螺、微加速度计及微惯性测量组合单元的设计、加工、封装、测量与控制技术；微惯性系统理论及应用，主要研究微惯性仪表、精密控制系统及数据处理系统等组成的微型系统及其与GPS等外部信息源构成的组合微型导航、定位、制导与控制系统的理论、设计、研制与应用。主要应用领域：制**药、中近程战术**、轻小型动能武器、微小卫星、火控稳定系统以及汽车工业、通讯、消费类市场等领域。
人员组成：微惯性系统及器件研究所共有教师7名，其中教授6名，副教授1名，硕士研究生和博士研究生60多人。
研究方向：随着微米纳米技术的兴起，从1994年开始，在国内率先开展微惯性仪表及微系统技术研究，在国家有关部委的大力支持下，经过二十多年的努力，已突破微惯性传感器设计、工艺、测试、封装等一系列关键技术，并成功研制出了具有较好性能的微惯性传感器与微惯性测量系统。
2004年，经教育部批准，在仪器科学与技术一级学科下自主设置了微系统与测控技术二级学科。主要研究方向：a)硅微机械惯性传感器；b)石英微机械惯性传感器；c)石英微机械谐振器/微天平及其相关工艺；d)新型传感器理论与设计；e)高精度重力仪及相关技术。
成果简介：自20世纪60年代以来，先后自行设计研制了液浮陀螺、动力调谐挠性陀螺等产品。近年来先后承担了国家863、国家自然科学基金、国防重点预研项目、省部级项目及各类基金项目以及企事业委托项目50余项，自主设计研制了单自由度水平轴和垂直轴硅微陀螺、二自由度硅微陀螺、三轴陀螺及硅微谐振式加速度计。出版专著5部（获江苏省精品教材奖1项），参编大型设计手册2部。先后获*****科学技术奖2项，省部委科学技术奖4项，省教学奖1项。
